無極光闌技術(shù)

無需切換光闌即可連續(xù)調(diào)整束流，調(diào)整時(shí)無需進(jìn)行對(duì)中操作，極大程度方便成像模式切換。

低真空技術(shù)

標(biāo)配30Pa低真空，幾乎所有不導(dǎo)電類樣品都可以直接觀測(cè)，無需做導(dǎo)電性處理。

*可選配最高500Pa的倉(cāng)室真空度

集成能譜

集成式分析平臺(tái)，能譜儀控制軟件集成到電鏡控制軟件中。在單一操作頁面高效實(shí)現(xiàn)SEM成像與元素成分分析的協(xié)同工作。

*集成能譜為可選配置

成像圖：

性能卓越

成熟穩(wěn)定的光學(xué)設(shè)計(jì)

分辨能力2.5nm@30kV

使用簡(jiǎn)便

多種觀測(cè)模式輕松切換

高效覆蓋從超大視場(chǎng)、超高分辨到超大束流分析等多種應(yīng)用場(chǎng)景

品質(zhì)穩(wěn)定

技術(shù)成熟且穩(wěn)定，與場(chǎng)發(fā)射機(jī)型使用相同的生產(chǎn)制造標(biāo)準(zhǔn)

品質(zhì)穩(wěn)定，質(zhì)量可靠